一、定义不同

定位精度是指设备运动到目标位置的实际坐标与标准位置（理论位置、理想位置）之间的差距，差距越小，说明精度越高，它是设备生产能力准确性得以保证的前提。

重复定位精度指设备在相同条件下，按同一既定程序运动，一次又一次返回到特定位置的能力，重复定位精度值指当系统返回到特定位置时的测量范围值。

定位精度、重复定位精度通常用微米做单位。

二、意义不同

定位精度有其特殊的意义，根据实测的精度数值，可以判断出这台设备以后自动生产所能达到的最好状态。

而重复定位精度，更侧重于表达设备的生产稳定性，一般情况下，重复定位精度是成正态分布的偶然性误差，它影响整批生产产品的一致性，是一项非常重要的性能指标。 

三、检查方法不同

定位精度一般做法，是通过对定义的位置进行移动和测量的过程以确定系统定位精度高低，假设运动控制器指示一个直线阶段移动到特定位置，一旦运动完成，便会得知设备该阶段的实际位移值，再结合外部精密反馈装置（如激光干涉仪）进行比对，即可得出设备的定位精度。

重复定位精度的一般检测方法是在靠近各坐标行程的中点及两端的任意三个位置进行测量，每个位置用快速移动定位，在相同的条件下重复做执行命令运动七次，测出定位点的坐标值，并求出读数的最大差值。